本發(fā)明提供了一種
鎳合金的綠色環(huán)?;瘜W(xué)機械拋光方法,屬于超精密加工技術(shù)領(lǐng)域。先對鎳合金進行研磨,然后進行粗拋光和精拋光。粗拋光時,拋光磨粒為α?
氧化鋁,平均粒徑為3?5μm,拋光液為去離子水,拋光墊為聚氨酯。精拋光時,陶瓷磨粒為氧化硅、α?氧化鋁、氧化鈰、氧化鎂,平均粒徑為20?60nm,重量百分比為0.5%?3%;絡(luò)合劑為亞氨基二琥珀酸鈉鹽、檸檬酸鈉,重量百分比為0.5?2%;pH調(diào)節(jié)劑為酒石酸、醋酸,重量百分比為0.5?2%,調(diào)節(jié)拋光液pH為3?5;拋光墊為磨砂革。拋光后鎳合金的測量范圍為50×70μm
2,表面粗糙度R
a達到0.4?0.7nm,實現(xiàn)了鎳的超光滑超低損傷化學(xué)機械拋光。
聲明:
“鎳合金的綠色環(huán)保化學(xué)機械拋光方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)