本實(shí)用新型公開了一種應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的插銷高度校準(zhǔn)工具,包括固定環(huán),所述固定環(huán)內(nèi)側(cè)壁上開設(shè)有環(huán)形槽,環(huán)形槽內(nèi)活動連接有轉(zhuǎn)動環(huán),轉(zhuǎn)動環(huán)的內(nèi)壁固接有固定滑軌,固定滑軌上滑動有調(diào)節(jié)滑塊,調(diào)節(jié)滑塊上螺紋連接有調(diào)節(jié)螺栓,調(diào)節(jié)滑塊的底部設(shè)有兩個(gè)卡扣機(jī)構(gòu)并通過兩個(gè)卡扣機(jī)構(gòu)可拆卸安裝有高度表,此應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的插銷高度校準(zhǔn)工具,區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù),對高度表拆裝方便,轉(zhuǎn)動環(huán)可帶動固定滑軌旋轉(zhuǎn),同時(shí)移動調(diào)節(jié)滑塊處于固定滑軌上的位置,從而可以測量加熱器插銷中間任意點(diǎn)的數(shù)據(jù)以及加熱器插銷在腔體內(nèi)的高度,減少破片以及停機(jī)時(shí)間,校準(zhǔn)加熱器插銷高度,可以計(jì)算加熱器插銷中心點(diǎn)與四邊點(diǎn)的水平差值。
聲明:
“應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的插銷高度校準(zhǔn)工具” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)