本實(shí)用新型涉及化學(xué)機(jī)械式研磨裝置的調(diào)節(jié)器,化學(xué)機(jī)械式研磨裝置的調(diào)節(jié)器包括:旋轉(zhuǎn)部;加壓部,其配備于旋轉(zhuǎn)部的上部,選擇性地向旋轉(zhuǎn)部施加軸向加壓力;測(cè)量部,其配備于加壓部與旋轉(zhuǎn)部之間,在將加壓部施加的加壓力傳遞給旋轉(zhuǎn)部的同時(shí)測(cè)量加壓力;調(diào)節(jié)盤,其結(jié)合于旋轉(zhuǎn)部的下部,以被加壓力加壓的狀態(tài),在借助于旋轉(zhuǎn)部而旋轉(zhuǎn)的同時(shí)對(duì)研磨墊進(jìn)行改質(zhì)。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械式研磨裝置的調(diào)節(jié)器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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