本發(fā)明屬于材料科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種基于等離子體化學(xué)增強(qiáng)氣相沉積直接合成大面積氧化
石墨烯的方法。本發(fā)明具體步驟包括:對(duì)襯底進(jìn)行預(yù)處理;利用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)在襯底上生長(zhǎng)氧化石墨烯;生長(zhǎng)結(jié)束后將氧化石墨烯取出;合成的關(guān)鍵之處在于氧原子的引入與控制。本發(fā)明方法反應(yīng)時(shí)間短,反應(yīng)溫度低,且氧化石墨烯的含氧量可控。與現(xiàn)有的化學(xué)法合成的氧化石墨烯相比,本方法合成的氧化石墨烯具有尺寸大,均勻性好的特點(diǎn),可用在氣體探測(cè)、光電器件等領(lǐng)域。
聲明:
“基于等離子體化學(xué)增強(qiáng)氣相沉積直接合成大面積氧化石墨烯的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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