本實用新型涉及化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域,提供一種化學(xué)氣相沉積爐漏氣快速處理輔助裝置,包括爐體、第一保護殼和第二保護殼,爐體的外部設(shè)置有第一保護殼,第一保護殼的外部設(shè)置有拆裝結(jié)構(gòu),第一保護殼的頂端設(shè)置有出氣管,第一保護殼的底端設(shè)置有第二保護殼,第二保護殼的底端設(shè)置有抽氣管,第二保護殼底端的中間位置處設(shè)置有注氣管,第一保護殼與第二保護殼的內(nèi)部設(shè)置有防護結(jié)構(gòu)。本實用新型通過設(shè)置有拆裝結(jié)構(gòu),將鎖緊螺栓從通孔內(nèi)部拆下,然后分離對接槽與對接塊之間的卡合,便可完成對于第一保護殼和第二保護殼的拆卸,對第一保護殼和第二保護殼的便捷拆下,方便了工作人員對于爐體的檢修。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積爐漏氣快速處理輔助裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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