亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 化學(xué)計(jì)量介電薄膜的高速反應(yīng)濺射

化學(xué)計(jì)量介電薄膜的高速反應(yīng)濺射

1144   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:00:53
本發(fā)明提供一種用于監(jiān)測(cè)并控制反應(yīng)濺射沉積的方法和裝置。該方法和裝置尤其可用于使用對(duì)金屬靶進(jìn)行濺射的大功率磁控管的化學(xué)計(jì)量介電化合物(例如,金屬氧化物、金屬氮化物、金屬氮氧化物等)在各種基底上的高速沉積,所述濺射包括使用較短的靶(陰極)電壓脈沖(通常40μs至200μs)且具有高達(dá)數(shù)kWcm-2的靶功率密度的大功率脈沖磁控濺射。對(duì)于給定的標(biāo)稱靶功率水平、靶材料和源氣體而言,在由電源所保持的恒定靶電壓下對(duì)反應(yīng)性氣體進(jìn)入真空室的脈沖流速進(jìn)行控制,以促進(jìn)化學(xué)計(jì)量介電薄膜在“金屬模式”與“覆蓋(中毒)模式”之間的過(guò)渡區(qū)中的濺射沉積。
聲明:
“化學(xué)計(jì)量介電薄膜的高速反應(yīng)濺射” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國(guó)熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開(kāi)更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記