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用于化學機械研磨工藝的保持環(huán)、研磨頭及研磨裝置

795 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:00:53

本申請實施例提供一種用于化學機械研磨工藝的保持環(huán)、研磨頭及研磨裝置。所述保持環(huán)上開設有多個溝槽，所述溝槽貫穿所述保持環(huán)的內(nèi)、外側壁；在所述保持環(huán)的外側壁上設置有用于監(jiān)測所述溝槽深度的刻線。本申請實施例提供的用于化學機械研磨工藝的保持環(huán)，在保持環(huán)的外側壁上設置有刻線，用于監(jiān)測所述溝槽深度，以便于在研磨進行過程中，實時監(jiān)測溝槽深度是否滿足研磨工藝的需求，以便及時更換保持環(huán)，提高化學機械研磨的效率和研磨效果。

聲明：

“用于化學機械研磨工藝的保持環(huán)、研磨頭及研磨裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)