本實(shí)用新型公開了一種制備硒化鋅的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)中的尾氣處理裝置,包括依次連接的一級(jí)逆流吸收系統(tǒng)、二級(jí)逆流吸收系統(tǒng)、活性炭吸附裝置、風(fēng)機(jī)和硒化氫
檢測儀,一級(jí)逆流吸收系統(tǒng)包括篩板式噴淋塔和一級(jí)堿液池,二級(jí)逆流吸收系統(tǒng)包括柱式噴淋塔和二級(jí)堿液池;一級(jí)堿液池和二級(jí)堿液池內(nèi)均設(shè)置有過濾網(wǎng),一級(jí)堿液池與篩板式噴淋塔的噴淋端和出液端連接形成液體循環(huán)通道,篩板式噴淋塔與尾氣管道連接,篩板式噴淋塔的出氣端與柱式噴淋塔的進(jìn)氣端連接,二級(jí)堿液池與柱式噴淋塔的噴淋端和出液端連接形成液體循環(huán)通道,柱式噴淋塔的出氣端與活性炭吸附裝置連接。本實(shí)用新型吸收效果好、吸收量大、處理過程安全、穩(wěn)定可靠。
聲明:
“制備硒化鋅的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)中的尾氣處理裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)