提供了用于獲得具有低至幾納米的空間分辨率的極高靈敏度的化學成分圖的方法及裝置。在一些實施例中,能夠通過組合三種技術生成該化學成分圖:(1)使用紅外輻射照射樣本,而不是調諧到樣本的吸收帶;(2)優(yōu)化調諧到特定靶材的機械耦合效率;(3)優(yōu)化調諧到特定靶材的諧振檢測。通過組合這些步驟可以獲得(1)基于獨特紅外吸收的化學成分圖;(2)通過極短距離的針尖?樣本相互作用增強的空間分辨率;(3)調諧至特定靶材的諧振放大。在其他實施例中,可以利用這些步驟中的任兩個,仍然能夠實現(xiàn)空間分辨率和/或靈敏度的實質改進。
聲明:
“用于化學成像的原子力顯微鏡的紅外光譜方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)