2化學(xué)電阻式氣體傳感器及其制備方法,化學(xué)分析"> 2化學(xué)電阻式氣體傳感器及其制備方法,本發(fā)明涉及一種NO2化學(xué)電阻式氣體傳感器,包括自下而上依次設(shè)置的基底、絕緣層、表面修飾層、活性敏感層以及源漏電極,表面修飾層的材質(zhì)為含端氨基的硅烷化合物,含端氨基的硅烷化合物的分子式為H2N?(CH2)n?SiCl3,H2N?(CH2)n?Si(OCH3)3或H2N?(CH2)n?Si(OC2H5)3,其中,n=3?18,活性敏感層的材質(zhì)為有機(jī)半導(dǎo)體。本發(fā)明還提供了一種上述NO2化學(xué)電阻式氣體傳感器的制備方法:在基底表面形成平整的絕緣層,然后使含端氨基的硅">
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