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智能芯片化學研磨液供給方法

1103 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 06:58:59

本發(fā)明公開了智能芯片化學研磨液供給方法，所述方法包括如下步驟：1.廠務水電氣與設備相連接，并打開廠務端閥門；2.設備接通電源，旋轉(zhuǎn)開關給設備上電；3.等待設備初始化完成；4.輸入配方到數(shù)據(jù)庫；5.按下操作電源啟動按鈕；6.設備自動啟動并執(zhí)行清洗程序；7.混料罐和供料罐分別清洗3次后自動關閉；8.設備準備完畢，可以執(zhí)行任務；9.選擇配方；10.搬運原料桶至設備原料秤；11.掃碼槍掃描原料桶編碼；12.系統(tǒng)進行對比，判斷編碼與數(shù)據(jù)庫中記錄的配方是否一致，重量是否一致。本發(fā)明在通過電導率液體監(jiān)測的同時運用智能計算深度學習方法量化檢測，能夠進行更高效、高精度的化學研磨液供給系統(tǒng)來進行研磨液體的供給。

聲明：

“智能芯片化學研磨液供給方法” 該技術專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)