提供一種制造化學(xué)機(jī)械拋光墊的方法,其中自動(dòng)檢查系統(tǒng)經(jīng)配置以檢測(cè)切削薄片的宏觀不均勻性并且將所述切削薄片分類成可接受或待檢;其中所述可接受切削薄片進(jìn)一步加工形成化學(xué)機(jī)械拋光墊的拋光層。
聲明:
“制造化學(xué)機(jī)械拋光墊的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)