本發(fā)明實施例公開了一種半導(dǎo)體光
電化學(xué)傳感器及其制備方法,該傳感器包括:工作電極、對電極、參比電極和電化學(xué)工作站;工作電極、對電極和參比電極分別與電化學(xué)工作站電連接,工作電極與對電極電連接,對電極與參比電極電連接;工作電極包括:導(dǎo)電基底和位于導(dǎo)電基底一側(cè)的圖案化半導(dǎo)體異質(zhì)層,圖案化半導(dǎo)體異質(zhì)層背離導(dǎo)電基底的一側(cè)表面包括多個微結(jié)構(gòu);工作電極與對電極平行對置,多個微結(jié)構(gòu)面向?qū)﹄姌O,參比電極位于對電極遠(yuǎn)離工作電極的一側(cè)。本發(fā)明實施例提供的半導(dǎo)體光電化學(xué)傳感器,具有較高的響應(yīng)速率及檢測極限,穩(wěn)定性好且可重復(fù)性高,適合工業(yè)化批量生產(chǎn)。
聲明:
“半導(dǎo)體光電化學(xué)傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)