本發(fā)明公開了一種扭矩終點(diǎn)的檢測方法及檢測裝置，其中，方法包括：在對(duì)晶圓進(jìn)行機(jī)械化學(xué)拋光時(shí)，判斷是否進(jìn)入第一預(yù)設(shè)時(shí)刻；如果是，則每間隔預(yù)設(shè)時(shí)間連續(xù)采集多組扭矩值，每組扭矩值包括至少一個(gè)扭矩值，并獲取每組扭矩值的扭矩均值；判斷扭矩均值與下一組扭矩值中首個(gè)扭矩值之間的絕對(duì)誤差是否小于第一預(yù)設(shè)值；如果是，則得到電機(jī)扭矩值最大時(shí)刻，并判斷與扭矩均值相鄰的兩組扭矩值的扭矩均值之差是否大于第二預(yù)設(shè)值；如果是，或者當(dāng)前時(shí)間與電機(jī)扭矩值最大時(shí)刻之差大于保護(hù)時(shí)間，則結(jié)束終點(diǎn)監(jiān)控。該方法可以進(jìn)一步彌補(bǔ)當(dāng)前扭矩終點(diǎn)檢測方式存在的固有缺陷，提高了終點(diǎn)檢測精準(zhǔn)度，拓寬了相應(yīng)的制程窗口。