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基于磁流體反饋的MEMS電化學(xué)角加速度傳感器及方法

801   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:57:48
本發(fā)明提供一種基于磁流體反饋的MEMS電化學(xué)角加速度傳感器,包括:外殼(100),呈圓柱環(huán)形狀,該圓柱環(huán)內(nèi)部設(shè)有電解液(203);敏感核心(200),包括至少兩對(duì)相同的陽極(201)和陰極(202),至少部分設(shè)于電解液(203)中,用于檢測(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)信號(hào)并使之轉(zhuǎn)化為電流輸出信號(hào);反饋核心,包括至少一對(duì)反饋電極(301)和至少一對(duì)磁鐵(302),反饋電極(301)至少部分設(shè)于電解液(203)中,磁鐵(302)位于外殼(100)的上表面和下表面;用于根據(jù)輸出信號(hào)產(chǎn)生反饋力,形成負(fù)反饋系統(tǒng)。本發(fā)明MEMS電化學(xué)角加速度傳感器既能保證大幅度地拓展電化學(xué)檢波器的頻帶范圍,又能保證傳感器輸出的穩(wěn)定性以及減小線性失真度。
聲明:
“基于磁流體反饋的MEMS電化學(xué)角加速度傳感器及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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