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晶圓暫存裝置及化學機械拋光設備

996 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 06:57:47

本發(fā)明提供一種晶圓暫存裝置及化學機械拋光設備，屬于晶圓拋光的技術領域，晶圓暫存裝置包括：隔水盤、定位柱和位置檢測機構，定位柱設有至少三個，在隔水盤上沿圓形間隔分布，定位柱的頂部設有用于定位晶圓側邊的定位面，所有的定位面在隔水盤上定位出直徑與晶圓直徑相同的定位圓；位置檢測機構也設有至少三個，沿定位圓間隔分布在隔水盤上，位置檢測機構在隔水盤上形成用于判斷當前位置是否具有晶圓的檢測點，檢測點位于定位圓的內側。通過定位柱的設置，能夠將晶圓定位在隔水盤上，并通過判斷每一個檢測點處是否檢測到晶圓的方式，可準確的判斷晶圓的擺放位姿是否準確，確保機械手能夠準確的抓取到晶圓。

聲明：

“晶圓暫存裝置及化學機械拋光設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)