本發(fā)明公開了一種用于制造半導(dǎo)體的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，包括完全相同的至少兩套供應(yīng)設(shè)備以及和每套供應(yīng)設(shè)備化學(xué)藥品罐的出口連接的沉積腔，每套供應(yīng)設(shè)備包括一個(gè)用于儲(chǔ)存需要進(jìn)行沉積的化學(xué)藥品的化學(xué)藥品罐，化學(xué)藥品罐內(nèi)具有能夠?qū)嵤z測(cè)罐內(nèi)藥品余量的傳感器，化學(xué)藥品罐的進(jìn)口同時(shí)連接到另一個(gè)化學(xué)藥品罐的出口以及當(dāng)前套供應(yīng)設(shè)備的載氣罐出氣口，載氣罐的進(jìn)氣口和空壓機(jī)連接。一個(gè)化學(xué)藥品罐的進(jìn)口和另一個(gè)化學(xué)藥品罐的出口連接的共用管路上設(shè)有至少一個(gè)截止閥。本發(fā)明還公開了此種供應(yīng)系統(tǒng)的工作方法。采用本發(fā)明的設(shè)計(jì)方案，能夠使得化學(xué)藥品罐的藥品被完全用光，實(shí)現(xiàn)0殘留，降低生產(chǎn)成本。