本發(fā)明公開了屬于微細(xì)加工領(lǐng)域的以微小間隙電解蝕除加工為核心,將光刻和電鑄工藝、精密電火花線切割加工技術(shù)融合的金屬合金材料的陣列微細(xì)型孔的
電化學(xué)加工工藝。其方法是采用線切割或光刻電鑄工藝制作陣列微細(xì)電極,對金屬合金材料進(jìn)行電解蝕除加工。如需加工較小深寬比的陣列微細(xì)型孔,所述陣列微細(xì)電極之間有絕緣膠填充并將端面磨平;如需加工較大深寬比的陣列微細(xì)型孔,所述陣列微細(xì)電極之間沒有絕緣膠填充,但電極側(cè)壁上覆有絕緣薄膜。絕緣處理減小了電解加工中雜散電場的不利影響。本發(fā)明利用陣列微細(xì)電極的電化學(xué)加工工藝,輔之以脈沖電源技術(shù)、微小間隙檢測和控制技術(shù),為陣列微細(xì)型孔提供一尺寸一致性好、具有批量生產(chǎn)特點的制作方法。
聲明:
“陣列微細(xì)型孔的電化學(xué)加工工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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