本發(fā)明公開了一種等離子體化學氣相沉積設備的載板傳輸控制方法,所述等離子體化學氣相沉積設備包括傳輸模塊和反應腔室,所述的方法包括;傳輸模塊升至高位與相鄰的反應腔室進行當前載板傳輸,關(guān)閉所述傳輸模塊降至低位的操作功能;檢測當前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?若是,則開啟所述傳輸模塊降至低位的操作功能;在所述傳輸模塊降至低位的操作功能開啟的條件下,執(zhí)行傳輸模塊降至低位的操作。本發(fā)明可以防止載板摔落,提高載板傳輸?shù)陌踩?從而有效降低生產(chǎn)成本,提高生產(chǎn)效率。
聲明:
“等離子體化學氣相沉積設備的載板傳輸控制方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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