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用于金屬膜層的化學機械拋光方法

1093 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 06:57:24

本發(fā)明公開了一種用于金屬膜層的化學機械拋光方法，其包括：化學機械拋光晶圓表面，使用電渦流傳感器檢測晶圓表面的金屬膜層，獲取金屬膜層厚度相關的電學測量值；使用光學傳感器檢測晶圓表面的金屬膜層，獲取金屬膜層分布的光學測量值；根據(jù)電學測量值確定拋光終點，并將完成拋光的晶圓傳輸至晶圓后處理單元；將完成清洗干燥的晶圓傳輸至晶圓翻轉工位，待晶圓由豎直位置翻轉至水平位置后，使用圖像采集器獲取晶圓表面的圖像數(shù)據(jù)；構建晶圓表面的光學測量值與圖像數(shù)據(jù)的映射關系，通過光學測量值判斷晶圓表面的金屬膜層分布是否滿足工藝要求，以修正晶圓的拋光終點。

聲明：

“用于金屬膜層的化學機械拋光方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)