為克服現(xiàn)有技術(shù)中常壓化學(xué)氣相沉積裝置在運(yùn)行過程中，只能在化學(xué)氣相沉積結(jié)束后檢查晶圓才能察覺到異常，不能及時(shí)發(fā)覺異常，也無法及時(shí)采取保護(hù)措施的問題，本實(shí)用新型提供了一種常壓化學(xué)氣相沉積裝置，其包括一報(bào)警保護(hù)模塊，所述報(bào)警保護(hù)模塊包括可編程控制器、信號(hào)檢測(cè)單元、報(bào)警單元；所述信號(hào)檢測(cè)單元連接與所述可編程控制器的輸入接口相連；所述報(bào)警單元與可編程控制器的輸出接口連接。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的常壓化學(xué)氣相沉積裝置，由于在其上集成了報(bào)警保護(hù)模塊，可以檢測(cè)氣體噴嘴的噴氣狀態(tài)及沉積尾氣排放口的排氣狀態(tài)。當(dāng)出現(xiàn)異常時(shí)，可編程控制器可及時(shí)通過報(bào)警單元進(jìn)行警示，提醒操作人員及時(shí)采取措施。