本實用新型公開了一種
電化學微流
芯片,包括設置在基底上的金屬Cr層,所述金屬Cr層上設置有金屬Au層,所述金屬Au層上設置有作為工作電極的金屬Bi層和作為輔助電極的電極Ag或AgCl層,所述基底上設置有上蓋,上蓋與基底之間的空隙為微流道。本實用新型以MEMS微細加工技術制備基于電化學溶出法的便攜式水體離子在線
檢測儀芯片,而只需使用普通紫外光源,借助光刻膠優(yōu)異的高精度結(jié)構(gòu)成型能力,使用普通的掩模版,就可完成電化學微流芯片單元的制備。本實用新型工藝簡單、成本低,而且易于批量化生產(chǎn)。本實用新型不僅能用于水中重金屬檢測,也能用于陰離子、農(nóng)藥、殺蟲劑、藥品、化妝品、洗滌用品殘留等的測量。
聲明:
“電化學微流芯片” 該技術專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)