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大功率熱梯度化學(xué)氣相滲透工藝系統(tǒng)監(jiān)控裝置及監(jiān)控方法

820   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:57:22
本發(fā)明公開了一種大功率熱梯度化學(xué)氣相滲透工藝系統(tǒng)監(jiān)控裝置,溫度傳感器、壓力傳感器、元件損壞檢測器、瓦斯信號檢測器以及流量計的所采集的信號傳輸給監(jiān)控計算機,監(jiān)控計算機同時輸出兩路信號,一路到顯示器,另一路通過D/O轉(zhuǎn)換器與驅(qū)動放大電路分別控制脈沖封鎖繼電器和中間繼電器,進而控制脈沖觸發(fā)電路和真空開關(guān)繼電器,使得整流電路停止工作或高壓開關(guān)斷開。還公開了上述裝置的監(jiān)控方法,監(jiān)控計算機采集溫度、壓力等信號與設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)值進行比較,比較結(jié)果為正常時,循環(huán)采集比較,直至沉積工藝結(jié)束;比較結(jié)果不正常時,則關(guān)斷10KV高壓電路,或者使整流電路停止工作并報警。本發(fā)明采用數(shù)據(jù)庫進行管理,實現(xiàn)了大功率TCVI工藝系統(tǒng)狀態(tài)的自動檢測。
聲明:
“大功率熱梯度化學(xué)氣相滲透工藝系統(tǒng)監(jiān)控裝置及監(jiān)控方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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