本發(fā)明公開了一種化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備及其操作方法，化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備包括夾片組件，夾片組件上安裝有拋光件；保持環(huán)，保持環(huán)設(shè)在夾片組件上，拋光件位于保持環(huán)內(nèi)；拋光盤，拋光盤設(shè)在保持環(huán)和拋光件的下方；其特征在于，還包括：保持環(huán)調(diào)節(jié)裝置，保持環(huán)調(diào)整裝置包括：調(diào)節(jié)裝置，調(diào)節(jié)裝置包括向上調(diào)節(jié)保持環(huán)的拉桿和向下調(diào)節(jié)保持環(huán)的壓桿；壓力分布檢測裝置，壓力分布檢測裝置設(shè)在拋光盤上以用于檢測保持環(huán)與拋光盤以及拋光件與拋光盤之間的壓力分布，調(diào)節(jié)裝置根據(jù)壓力分布檢測裝置的檢測信息調(diào)節(jié)保持環(huán)。根據(jù)本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備，能夠保證拋光件拋光后的面形精度，提高拋光效果。