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化學(xué)放大型正性抗蝕劑組合物

1074   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:57:22
一種化學(xué)放大型正性抗蝕劑組合物,包括酚醛清漆樹脂、在堿性水溶液中本身不可溶或可溶性差但是在堿性水溶液中通過酸的作用而變得可溶的樹脂,和酸生成劑,其中當酚醛清漆樹脂通過凝膠滲透色譜(GPC)利用254nm UV檢測器、以聚苯乙烯作標準物進行測試時,基于除了未反應(yīng)單體之外的總圖案面積計,分子量為1000或更小的組分的面積比為25%或更小。該化學(xué)放大型正性抗蝕劑組合物在不惡化基本性能例如靈敏度、分辨率等的情況下能夠降低費用,并且由于駐波引起的不均勻性小,能夠改善圖案輪廓、特別是線邊緣粗糙度。
聲明:
“化學(xué)放大型正性抗蝕劑組合物” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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