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用于微納尺度形貌及化學(xué)信息同時(shí)原位獲得的近場(chǎng)離子源

924   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:56:06
用于微納尺度形貌及化學(xué)信息同時(shí)原位獲得的近場(chǎng)離子源,涉及近場(chǎng)離子源。設(shè)有光源、后電離源、光纖、Z軸光纖?樣品距離控制系統(tǒng)、樣品、質(zhì)量分析器和XY二維移動(dòng)平臺(tái);控制系統(tǒng)對(duì)光纖末端與樣品之間的距離調(diào)控,當(dāng)光纖趨近到樣品表面時(shí)通過反饋系統(tǒng)獲得Z軸高度信息;光源發(fā)出的光束經(jīng)光纖進(jìn)行傳輸,并照射在樣品表面;后電離源所產(chǎn)生的離子經(jīng)傳輸進(jìn)入質(zhì)量分析器,通過質(zhì)量分析器獲得質(zhì)譜譜圖;通過逐點(diǎn)掃描的方式記錄樣品表面微納尺度的形貌信息,獲得其三維形貌輪廓的成像圖;原位記錄樣品表面微區(qū)的化學(xué)信息,獲得其表面化學(xué)信息的二維質(zhì)譜成像圖,獲得空間分辨率可達(dá)微米甚至是納米尺度,可實(shí)現(xiàn)分子及元素薄層的深度分析。
聲明:
“用于微納尺度形貌及化學(xué)信息同時(shí)原位獲得的近場(chǎng)離子源” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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