本實用新型公開了一種用于化學品過濾器更換的自動排泡系統(tǒng),其中化學品過濾器將化學品供應(yīng)柜和制程單元連通,化學品供應(yīng)柜與化學品過濾器的輸入端通過輸入管路連通,化學品過濾器的輸出端與制程單元的輸入端通過主管路連通,所述系統(tǒng)包括控制單元、氣泡檢測器、三通閥、流量計、旁路開關(guān)閥,氣泡檢測器設(shè)于主管路上,三通閥設(shè)于氣泡檢測器和制程單元的輸入端之間且連接一旁路排氣管路,氣泡檢測器與控制單元通訊連接,旁路排氣管路上設(shè)有旁路開關(guān)閥,三通閥和旁路開關(guān)閥之間還設(shè)有流量計,流量計和旁路開關(guān)閥分別與控制單元電性連接。本實用新型在主管路上增加旁路排泡結(jié)構(gòu),可以大幅縮短排泡耗時,降低化學品排放量,并且可以精確控制排液量。
聲明:
“用于化學品過濾器更換的自動排泡系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)