本發(fā)明揭示了一種化學(xué)液供液及回收再利用系統(tǒng)，該系統(tǒng)分別與原液槽、機(jī)臺(tái)儲(chǔ)液槽及廢液回收槽連接，該系統(tǒng)包括：混液槽、溫度檢測(cè)調(diào)節(jié)裝置、粘度檢測(cè)調(diào)節(jié)裝置及金屬離子濃度檢測(cè)調(diào)節(jié)裝置?；煲翰鄞娣呕瘜W(xué)液，其中，化學(xué)液由原液槽或機(jī)臺(tái)儲(chǔ)液槽注入混液槽，或者由混液槽注入機(jī)臺(tái)儲(chǔ)液槽或廢液回收槽，或者化學(xué)液從混液槽抽出后再注入混液槽。溫度檢測(cè)調(diào)節(jié)裝置檢測(cè)和調(diào)節(jié)化學(xué)液的溫度，以使注入至混液槽內(nèi)的化學(xué)液的溫度達(dá)到目標(biāo)溫度。粘度檢測(cè)調(diào)節(jié)裝置檢測(cè)和調(diào)節(jié)化學(xué)液的粘度，以使注入至混液槽內(nèi)的化學(xué)液的粘度達(dá)到目標(biāo)粘度。金屬離子濃度檢測(cè)調(diào)節(jié)裝置檢測(cè)和調(diào)節(jié)化學(xué)液的金屬離子濃度，以使注入至混液槽內(nèi)的化學(xué)液的金屬離子濃度小于或等于目標(biāo)濃度。本發(fā)明還揭示了一種化學(xué)液供液及回收再利用方法。