一種用于控制化學(xué)機(jī)械平坦化的系統(tǒng)及方法,化學(xué)機(jī)械平坦化系統(tǒng)包括用以在化學(xué)機(jī)械平坦化制程中保持半導(dǎo)體晶圓的化學(xué)機(jī)械平坦化頭。系統(tǒng)包括定位成在化學(xué)機(jī)械平坦化卸載了半導(dǎo)體晶圓之后擷取化學(xué)機(jī)械平坦化的影像的攝影機(jī)??刂葡到y(tǒng)分析影像以判定化學(xué)機(jī)械平坦化頭是否損壞。若化學(xué)機(jī)械平坦化頭損壞,則控制系統(tǒng)防止進(jìn)一步的化學(xué)機(jī)械平坦化操作,直至修復(fù)化學(xué)機(jī)械平坦化頭為止。若控制系統(tǒng)未檢測(cè)到任何損壞,則控制系統(tǒng)允許化學(xué)機(jī)械平坦化頭接收下一個(gè)半導(dǎo)體晶圓以進(jìn)行化學(xué)機(jī)械平坦化。
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