一種化學(xué)機械拋光設(shè)備包括:拋光頭,其包括拋光頭主體、附于拋光頭主體的下部的薄膜和布置在拋光頭主體與薄膜之間的反射器;包括開口的托盤;發(fā)射器,其布置在托盤的開口下方,該發(fā)射器被構(gòu)造為發(fā)射太赫波;檢測器,其布置在托盤的開口下方,該檢測器被構(gòu)造為接收從發(fā)射器發(fā)射的太赫波和從反射器反射的太赫波;以及分析器,其被構(gòu)造為分析通過轉(zhuǎn)換由檢測器接收到的太赫波而產(chǎn)生的電信號,該分析器被構(gòu)造為確定拋光結(jié)束點。
聲明:
“化學(xué)機械拋光設(shè)備和制造半導(dǎo)體裝置的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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