一種寬運行氣壓范圍無離子損傷的ECR微波等離子體增強低溫外延系統(tǒng)與技術(shù),系統(tǒng)由腔耦合型ECR微波等離子體源、真空系統(tǒng)、配氣系統(tǒng)、檢測與分析及計算機數(shù)據(jù)采集與控制系統(tǒng)組成;配置有帶差分抽氣結(jié)構(gòu)的RHEED,可實現(xiàn)原子尺度控制生長的原位實時監(jiān)測。是適于單質(zhì)和多元素化合物薄膜,復雜層狀結(jié)構(gòu),超薄層微結(jié)構(gòu)材料生長的高精密低溫外延系統(tǒng)與技術(shù);還能滿足等離子體與生長表面的相互作用等相關(guān)基礎(chǔ)研究的要求。
聲明:
“電子回旋共振微波等離子體增強金屬有機化學汽相沉積外延系統(tǒng)與技術(shù)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)