本實(shí)用新型提供一種用于化學(xué)電鍍機(jī)臺(tái)的化學(xué)溶劑泄漏報(bào)警系統(tǒng)，包括裝設(shè)于各制程室底盤的內(nèi)底面，用于在探測到微量化學(xué)溶劑泄漏時(shí)發(fā)送第一信號(hào)的多個(gè)第一探測器；裝設(shè)于與各制程室底盤具有預(yù)設(shè)高度的位置，用于在探測到大量化學(xué)溶劑泄漏時(shí)發(fā)送第二信號(hào)的多個(gè)第二探測器；用于在接收到第一信號(hào)時(shí)指示出與該第一信號(hào)對應(yīng)的泄漏點(diǎn)并進(jìn)行報(bào)警的控制面板；以及用于在接收到第二信號(hào)時(shí)對所述化學(xué)電鍍機(jī)臺(tái)進(jìn)行緊急停機(jī)操作的緊急開關(guān)裝置。本實(shí)用新型在檢測到微量化學(xué)泄漏時(shí)可以指示出泄露點(diǎn)并進(jìn)行報(bào)警，檢測到大量的化學(xué)泄露時(shí)進(jìn)行停機(jī)操作，可以大大地降低由于不必要的停機(jī)而導(dǎo)致晶圓出現(xiàn)產(chǎn)品缺失以及良率下降，有利于提高生產(chǎn)效率并降低生產(chǎn)成本。