本發(fā)明提出一種化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔裝置,包括:腔室本體,腔室本體內(nèi)限定有反應(yīng)腔室;上陪片,上陪片固定在反應(yīng)腔室內(nèi),且上陪片設(shè)有至少一個檢測通孔;托盤,托盤位于上陪片之下;旋轉(zhuǎn)機構(gòu),旋轉(zhuǎn)機構(gòu)與托盤相連,且旋轉(zhuǎn)機構(gòu)用于驅(qū)動托盤旋轉(zhuǎn);和
檢測儀,檢測儀設(shè)在腔室本體外且與上陪片的至少一個檢測通孔對應(yīng)。本發(fā)明還提出一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備。根據(jù)本發(fā)明的化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔裝置能夠降低檢測儀的檢測難度,提高檢測精度。應(yīng)用本發(fā)明的化學(xué)氣相沉積設(shè)備使溫度和成膜厚度檢測更為精確,且節(jié)省檢測時間。另外,本發(fā)明實現(xiàn)簡單,成本低。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔裝置及具有其的化學(xué)氣相沉積設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)