用于收集和分析由化學(xué)機(jī)械平坦化(CMP)過程產(chǎn)生的流出物流的裝置和方法對至少一個(gè)流出物特征進(jìn)行連續(xù)測量并且隨時(shí)間推移綜合結(jié)果以創(chuàng)建對平坦化過程的體積分析。體積分析可以用作用于控制平坦化過程自身(例如基于膜材料的已知的初始厚度的終點(diǎn)檢測)的反饋/前饋信號、產(chǎn)生用于超范圍測量的報(bào)警信號和/或在排放之前對流出物的處理中有用的廢物流指示物(例如確定pH修正)。
聲明:
“用于CMP過程控制的在線流出物分析方法和裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)