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具有利用原子層沉積形成的集成計(jì)算元件的流體分析系統(tǒng)

927   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:50:35
具有利用原子層沉積(ALD)形成的集成計(jì)算元件(ICE)或其它光路組件的流體分析系統(tǒng)使得能提高公差和設(shè)計(jì)靈活性。在一些公開實(shí)施方案中,流體分析系統(tǒng)包括光源和ICE。所述流體分析系統(tǒng)還包括將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的檢測(cè)器。所述ICE包括多個(gè)光學(xué)層,其中所述多個(gè)光學(xué)層中的至少一個(gè)利用ALD形成。相關(guān)的方法包括選擇具有多個(gè)光學(xué)層的ICE設(shè)計(jì)。所述方法還包括利用ALD形成所述ICE的所述多個(gè)光學(xué)層中的至少一個(gè)以使得能預(yù)測(cè)物質(zhì)的化學(xué)或物理性質(zhì)。相關(guān)的測(cè)井柱包括測(cè)井工具區(qū)段和與所述測(cè)井工具區(qū)段相關(guān)聯(lián)的流體分析工具。
聲明:
“具有利用原子層沉積形成的集成計(jì)算元件的流體分析系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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