本發(fā)明提供一種材料非平面表面原位統(tǒng)計分布分析方法,可以實現(xiàn)非平面表面大尺度(cm2)范圍內(nèi)的化學成分及其狀態(tài)的原位統(tǒng)計分布分析。針對非平面材料表面,采用激光光源對相對運動的樣品表面實施連續(xù)的激發(fā),實現(xiàn)精確位置空間坐標與所采集到的各相關成分光譜或質(zhì)譜的高速、實時檢測信號的同步定位;采用材料非平面表面(俯視)投影含量等高圖及三維形貌含量等高圖兩種方式表征非平面材料任何位置空間坐標與各化學成分含量的對應分布;以各位置的信息為基礎建立含量-頻度分布曲線,獲得最大偏析與最小偏析的準確空間定位與定量、中位值的統(tǒng)計判定、表觀致密度的統(tǒng)計解析、以及統(tǒng)計偏析度、統(tǒng)計符合度等表征非平面材料性能的新信息。
聲明:
“材料的非平面表面原位統(tǒng)計分布分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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