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化學機械拋光的在線監(jiān)測裝置

949   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:49:13
本發(fā)明公開了一種化學機械拋光的在線監(jiān)測裝置,設(shè)于拋光盤內(nèi),可隨拋光盤轉(zhuǎn)動;其包括光源;光學鏡組,用于接收光源發(fā)出的光束,產(chǎn)生準直光束;光路轉(zhuǎn)折單元,用于接收準直光束,將其形成入射光路,入射光路透過拋光盤的通光窗口,照射至拋光盤上的晶圓表面,晶圓表面將入射光路反射后經(jīng)過光路轉(zhuǎn)折單元形成出射光路;探測器,用于接收出射光路,以獲取對應(yīng)的光譜信息,確定晶圓拋光的終點。本發(fā)明采用光學鏡組縮束準直的方式耦合光源,解決了傳統(tǒng)光纖耦合導(dǎo)致的光源光強利用率低的問題;采用信號控制方式調(diào)節(jié)光源并實時監(jiān)測光強,保證測量信號的穩(wěn)定性,提升探測精度,延長光源的使用壽命。
聲明:
“化學機械拋光的在線監(jiān)測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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