本實(shí)用新型提出一種測距器及化學(xué)氣相沉積設(shè)備,其有益效果主要體現(xiàn)在:測距器內(nèi)體和外體頂端間的高度差可以通過內(nèi)體和外體的卡位部件相互配合,被很好地維持住,從而能夠提高測距器測得的兩物體之間的距離精度,如化學(xué)氣相沉積設(shè)備中噴淋頭和加熱器,減少測量誤差;并且內(nèi)與外體之間的復(fù)位彈簧可以使得測距器復(fù)位,方便多次測量。
聲明:
“測距器及化學(xué)氣相沉積設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)