本發(fā)明公開(kāi)了一種電誘導(dǎo)輔助化學(xué)機(jī)械拋光測(cè)試裝置,包括:拋光液池、拋光墊、拋光盤、拋光頭、驅(qū)動(dòng)器、負(fù)電極以及外接電源;所述拋光液池用于盛裝拋光電解液,其通過(guò)所述拋光盤帶動(dòng)而旋轉(zhuǎn);所述拋光墊貼合于拋光液池的底壁上;所述拋光頭用于固定待拋光的晶片,并通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)而與所述拋光墊相對(duì)反向旋轉(zhuǎn),以對(duì)晶片進(jìn)行機(jī)械拋光;所述外接電源的正極與所述晶片接通,負(fù)極與所述負(fù)電極接通。本發(fā)明的電誘導(dǎo)輔助化學(xué)機(jī)械拋光測(cè)試裝置,通過(guò)電誘導(dǎo)作用的方式,增強(qiáng)晶片的氧化腐蝕,提高材料去除率,降低晶片拋光的生產(chǎn)成本,改善晶片的表面質(zhì)量。
聲明:
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