本發(fā)明適用于化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域,提供了一種膜厚測(cè)量方法、系統(tǒng)及化學(xué)機(jī)械拋光裝置,其中方法包括:根據(jù)離線采集的晶圓膜厚信息以及在拋光期間使用膜厚傳感器進(jìn)行動(dòng)態(tài)測(cè)量時(shí)輸出的信號(hào)值,獲取輸出信號(hào)與晶圓膜厚的映射關(guān)系;并利用所述映射關(guān)系,將所述膜厚傳感器在線測(cè)量時(shí)輸出的信號(hào)值轉(zhuǎn)換為膜厚值。
聲明:
“膜厚測(cè)量方法、系統(tǒng)及化學(xué)機(jī)械拋光裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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