本發(fā)明公開(kāi)一種
電化學(xué)測(cè)量微電極結(jié)構(gòu)及其制作方法,該微電極結(jié)構(gòu)包括:絕緣基底、電極、導(dǎo)電線和絕緣保護(hù)層,所述電極和所述導(dǎo)電線設(shè)于所述絕緣基底的上方,所述電極和所述導(dǎo)電線相連接,所述絕緣保護(hù)層覆蓋于所述電極和所述導(dǎo)電線上方;所述絕緣基底上設(shè)有若干不連續(xù)的空孔,所述若干空孔對(duì)應(yīng)所述電極的位置設(shè)置,每一所述空孔均連通至所述電極,其中一個(gè)空孔或多個(gè)空孔內(nèi)形成近電極控制部。本發(fā)明的電化學(xué)測(cè)量微電極結(jié)構(gòu)能按需靈活定制微電極電極有效尺度,并維持電極露于空孔或近電極控制部中的材料表面特征,實(shí)現(xiàn)微電極的更廣泛的材質(zhì)選用和更豐富的表面狀態(tài)。本發(fā)明的電化學(xué)測(cè)量微電極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)靈活,制作方法易于構(gòu)建,易于批量生產(chǎn)。
聲明:
“電化學(xué)測(cè)量微電極結(jié)構(gòu)及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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