本發(fā)明公開了一種拋光液供給性能核準(zhǔn)裝置和化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng),所述拋光液供給性能核準(zhǔn)裝置包括固定座、水平板和定位件,所述固定座可拆卸地設(shè)置于拋光盤的外周壁,所述水平板連接于所述固定座的頂部并朝向拋光盤的中心設(shè)置,所述定位件設(shè)置于固定座的側(cè)部并位于水平板的下部;所述定位件的內(nèi)側(cè)壁為圓弧結(jié)構(gòu),所述圓弧結(jié)構(gòu)的尺寸與拋光墊的外徑相匹配;所述水平板設(shè)置于拋光墊與拋光液供給臂之間,拋光液經(jīng)由所述拋光液供給臂的端部滴落至所述水平板的頂面,水平板的頂面設(shè)置有刻度線以量測(cè)拋光液的滴落位置。
聲明:
“拋光液供給性能核準(zhǔn)裝置和化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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