本發(fā)明公開了一種電學(xué)測試監(jiān)控反饋式化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)及其應(yīng)用，屬于化學(xué)氣相沉積領(lǐng)域。系統(tǒng)包括化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)和電學(xué)測試系統(tǒng)，所述化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)包括高溫爐，所述高溫爐中的爐腔內(nèi)設(shè)有穿過高溫爐的三通爐管，所述三通爐管設(shè)有上方開口，上方開口處的正下方設(shè)置有載樣臺(tái)；所述電學(xué)測試系統(tǒng)包括通過內(nèi)置導(dǎo)線連接的四探針測試桿和四探針測試儀；所述四探針測試桿與上方開口密封連接。本發(fā)明通過對化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)爐管的改造，使化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)與電學(xué)測試系統(tǒng)結(jié)合，進(jìn)而有效的實(shí)現(xiàn)了對樣品生長質(zhì)量的實(shí)時(shí)監(jiān)控以及能夠及時(shí)反饋至控制系統(tǒng)以調(diào)節(jié)生長參數(shù)，生成原子層級(jí)厚度的樣品，靈活性強(qiáng)，成膜效果好，樣品性能高。