一種在半導(dǎo)體制程中探測化學(xué)溶劑泄漏的裝置,包括:一控制盒,用以接收至少一輸入信號,上述控制盒包括一前面板、一電路板,用以接收至少一輸入信號并觸發(fā)一報(bào)警信號,上述前面板包括一第一指示器,用以提供上述報(bào)警信號,表示探測到化學(xué)溶劑泄漏;一托盤,用以搜集泄漏的化學(xué)液體,包括多個(gè)垂直側(cè)邊以及多個(gè)腿部,其中至少一腿部是可調(diào)整的,使上述托盤的一個(gè)角落比上述托盤的其它角落更靠近地面;以及一傳感器,用以探測化學(xué)溶劑的泄漏以及傳送上述輸入信號至上述控制盒。
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