本發(fā)明公開了基于化學(xué)腐蝕的光學(xué)玻璃亞表面損傷深度測量方法,該方法首先將光學(xué)玻璃放入腐蝕性液體中腐蝕一個時間段后,取出超聲清洗烘干后,采用激光共聚焦顯微鏡檢測腐蝕表面的表面粗糙度和單位面積內(nèi)的表面積,分別繪制表面粗糙度和單位面積表面積隨腐蝕時間變化的曲線;將表面粗糙度變化曲線中表面粗糙度最大值作為光學(xué)玻璃亞表面裂紋深度;將單位面積內(nèi)表面積變化曲線趨于穩(wěn)定的時刻作為腐蝕到亞表面損傷層整體深度的時間,利用該時間腐蝕相同試樣表面,測量腐蝕臺階高度作為亞表面損傷層整體深度,最終得到殘余應(yīng)力層深度。本發(fā)明利用激光共聚焦技術(shù)檢測單位面積內(nèi)表面積和表面粗糙度隨腐蝕時間變化的曲線,一次腐蝕循環(huán)即可測得光學(xué)玻璃亞表面的裂紋層深度、損傷層整體深度和殘余應(yīng)力層深度,提高檢測效率。
聲明:
“基于化學(xué)腐蝕的光學(xué)玻璃亞表面損傷深度測量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)