本發(fā)明公開了一種金屬膜厚測(cè)量方法、膜厚測(cè)量裝置和化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備,方法包括:基于幅值法或相位法測(cè)量晶圓表面金屬薄膜的膜厚時(shí),計(jì)算幅值法或相位法對(duì)應(yīng)的極值點(diǎn);根據(jù)所述極值點(diǎn)、測(cè)量量程和/或測(cè)量靈敏度來(lái)調(diào)節(jié)激勵(lì)頻率,其中,所述測(cè)量量程為測(cè)量膜厚范圍,所述測(cè)量靈敏度為分辨率,所述激勵(lì)頻率為用于膜厚測(cè)量裝置的激勵(lì)信號(hào)的頻率。本發(fā)明利用極值點(diǎn),可以得到幅值法和相位法中最優(yōu)的測(cè)量量程和測(cè)量靈敏度。
聲明:
“金屬膜厚測(cè)量方法、膜厚測(cè)量裝置和化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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