本發(fā)明公開了一種用于化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的拋光液物理參數(shù)測(cè)量裝置及測(cè)量方法?；瘜W(xué)機(jī)械拋光設(shè)備包括拋光頭、轉(zhuǎn)臺(tái)、拋光盤和拋光墊,其中拋光墊設(shè)置有通孔。拋光液物理參數(shù)測(cè)量裝置包括傳感器,傳感器設(shè)置在拋光盤內(nèi)且適于通過拋光墊內(nèi)的通孔與拋光液接觸以測(cè)量拋光液的物理參數(shù);變送器,變送器設(shè)置在轉(zhuǎn)臺(tái)內(nèi)且與傳感器相連用于將傳感器的測(cè)量信號(hào)轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào);和處理單元,處理單元與變送器相連用于獲取標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)以得到拋光液的物理參數(shù)。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拋光液物理參數(shù)測(cè)量裝置可以在線測(cè)量并得到拋光頭與拋光墊之間的拋光液的物理參數(shù)。本發(fā)明還公開了一種具有所述拋光液物理參數(shù)測(cè)量裝置的化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備。