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基于MEMS技術(shù)的電化學(xué)地震檢波器

738   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:45:17
本發(fā)明公開了一種基于MEMS技術(shù)的電化學(xué)地震檢波器,涉及地震檢波技術(shù),能夠檢測(cè)微弱地震波,是一個(gè)層狀疊加結(jié)構(gòu)的敏感單元密封在一個(gè)盛滿電解質(zhì)溶液的腔體里,敏感單元的每一層包括正面的兩對(duì)共面叉指形排列的電極和背面的溝槽形絕緣流道。當(dāng)?shù)卣饳z波器受到地震波的振動(dòng)時(shí),相當(dāng)于受到一個(gè)加速度的作用,溶液內(nèi)部將產(chǎn)生壓力梯度,改變了溶液的離子濃度分布和速度場(chǎng),影響電極處的電化學(xué)反應(yīng)速率,從而使電極電流發(fā)生改變。通過測(cè)量電極電流的變化,就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)地震波的檢測(cè)。傳感器采用層狀和共面叉指電極的結(jié)構(gòu),提高了地震檢波器的靈敏度,電極一致性好,便于調(diào)節(jié)電極寬度和間距。
聲明:
“基于MEMS技術(shù)的電化學(xué)地震檢波器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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