本發(fā)明公開了一種高密度等離子體化學(xué)氣相淀積設(shè)備的腔體檢漏方法,在生產(chǎn)工藝步驟中增加腔體檢漏工藝,腔體檢漏工藝自動(dòng)執(zhí)行并實(shí)時(shí)報(bào)警;當(dāng)腔體檢漏工藝得到的測量結(jié)果超標(biāo)時(shí),高密度等離子體化學(xué)氣相淀積設(shè)備發(fā)出警報(bào)并使生產(chǎn)工藝步驟停止執(zhí)行;當(dāng)腔體檢漏工藝得到的測量結(jié)果正常時(shí),生產(chǎn)工藝步驟繼續(xù)執(zhí)行。本發(fā)明能降低檢漏的時(shí)間、提高設(shè)備的產(chǎn)能,能夠使檢漏的實(shí)施達(dá)到可控并能通過自動(dòng)的規(guī)格管理來有效避免產(chǎn)品事故的發(fā)生,使產(chǎn)品的質(zhì)量得到保證。
聲明:
“高密度等離子體化學(xué)氣相淀積設(shè)備的腔體檢漏方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)