本發(fā)明提供一種實時偵測系統(tǒng),用于實時偵測研磨墊溝槽狀況以管控研磨墊壽命,所述實時偵測系統(tǒng)包括圖像采集模塊、數(shù)據(jù)處理模塊和界面管理模塊。本發(fā)明還提供一種實時偵測方法,包括:實時采集所述研磨墊溝槽的圖像;對所述圖像進行實時分析,確認所述研磨墊是否到達壽命,實時輸出分析結(jié)果。本發(fā)明還提供一種包括所述實時偵測系統(tǒng)的化學機械拋光設(shè)備。通過圖像采集模塊采集圖像信息,并通過數(shù)據(jù)處理模塊對圖像進行分析處理,實時得出研磨墊是否達到壽命的結(jié)果,最后通過界面管理模塊進行系統(tǒng)控制和狀態(tài)顯示,使得研磨墊壽命管控變得及時、可靠,同時減少了人力,解決了現(xiàn)有技術(shù)中研磨墊壽命管控缺乏即時性和可靠性且浪費人力的問題。
聲明:
“實時偵測系統(tǒng)、實時偵測方法及化學機械拋光設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)